Simulation d'interaction du faisceau d'ions énergétiques avec le fer massif par le logiciel SRIM

Abstract

Le présent travail consiste en la simulation de l'interaction d'un faisceau d'ions Kr+ avec une cible de fer solide par le logiciel SRIM (Stopping and Range of Ions In Matter). Notre objectif est de calculer différents paramètres liés à la pulvérisation et l'implantation d'ions dans une cible, tels que la distribution spatiale des ions implantés, les distributions des pertes d'énergies électronique et nucléaire en fonction de la profondeur de pénétration et le rendement de pulvérisation, ainsi que les dommages crées à l'intérieur de la cible.