Conception d'un microcapteur de pression, Humidité et température en technologie MEMS.

Abstract

Les microsystèmes (MEMS –Micro Eléctro-Mécanical –System) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques,mécaniques et optiques sur la même puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques de pointes de la microélectronique des semi conducteurs et des nouvelles techniques du micro usinage permettant ainsi la réalisation des systèmes entiers sur une puce (SOC –system onchip). En plus,cette intégration permettra de miniaturiser le système, d’améliorer Les performances et d’augmenter la sensibilité. Dans ce cadre vient l’objectif de cette thèse qui a pour but de concevoir un micro capteur de pression, humidité et température. Le dit capteur sera ensuite destiné à la collecte d’informations sur le climat pour dresser des bulletins météorologiques. Après avoir décrit les différents procédés de fabrications des microsystèmes compatibles microélectroniques et récapituler l’état de l’art des différentes principes de transduction des structures du capteur de pression, capteur d’humidité et capteur de température MEMS intégrés micro usinés, nous avons procédé à une simulation des différentes étapes technologiques nécessaire pour la réalisation du multi capteur à l’aide du logiciel Silvaco (Athéna)(2D). Cette partie a été effectuée au centre de développement des technologies avancées (CDTA). La mise au point d’une filière technologique de fabrication demande de définir des opérations technologiques successives indépendantes et compatibles entre elles.