Etude de l'éffet couronne sur le silicium multicristallin

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Date

2009

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Université Mouloud Mammeri

Abstract

Description

95 f. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)

Keywords

Plasma, Silicium multicristallin : Propriétés : Traitement : Application

Citation

Option : Microélectronique