Titre :	Conception d'un microcapteur de pression, Humidité et température en technologie MEMS.
Type de document :	theses et memoires
Auteurs :	Samia Annane ; Mourad Laghrouche, Directeur de thèse
Editeur :	Tizi Ouzou : UMMTO.FGEI
Année de publication :	2011
Importance :	96 p.
Présentation :	ill.
Format :	30 cm.
Note générale :	Bibliogr.
Langues :	Français
Mots-clés :	Microsystème  MEMS  Capteurs de pression  Humidité et température  Multicapteurs  Simulation  Silvaco  Membranes.
Résumé :	Lesmicrosystèmes (MEMS –Micro Eléctro-Mécanical –System) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques,mécaniqueset optiques sur la même puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques de pointes de la microélectronique des semi conducteurs et des nouvelles techniques du micro usinage permettant ainsi la réalisation des systèmes entiers sur une puce (SOC –system onchip). En plus,cette intégration permettra de miniaturiser le système, d’améliorer sesperformances et d’augmenter la sensibilité. Dans ce cadre vient l’objectif de cette thèse qui a pour but de concevoir un micro capteurde pression, humidité et température. Le dit capteursera ensuite destiné à la collecte d’informations sur le climat pour dresser des bulletins météorologiques. Après avoir décritles différents procédés de fabrications des microsystèmes compatibles microélectroniques et récapituler l’état de l’art des différentes principes de transductiondes structures du capteur de pression, capteur d’humidité et capteur de température MEMS intégrésmicro usinés, nous avons procédé à une simulation des différentes étapes technologiques nécessaire pour la réalisation du multi capteur à l’aide du logiciel Silvaco (Athéna)(2D). Cette partie a été effectuée au centre de développement des technologiesavancées (CDTA). La mise au point d’une filière technologique de fabrication demande de définir des opérations technologiques successives indépendanteset compatiblesentre elles. Mot clefs Microsystèmes, MEMS, Micro-usinage, Multi capteurs, Membranes, Simulation, Silvaco.
En ligne :	https://dl.ummto.dz/bitstream/handle/ummto/614/Annane%20SAMIA.pdf?sequence=1&isA [...]
Format de la ressource électronique :	PDF
Permalink :	./index.php?lvl=notice_display&id=24896

Conception d'un microcapteur de pression, Humidité et température en technologie MEMS. [theses et memoires] / Samia Annane ; Mourad Laghrouche, Directeur de thèse . - Tizi Ouzou (Tizi Ouzou) : UMMTO.FGEI, 2011 . - 96 p. : ill. ; 30 cm.
Bibliogr.
Langues : Français

Mots-clés :	Microsystème  MEMS  Capteurs de pression  Humidité et température  Multicapteurs  Simulation  Silvaco  Membranes.
Résumé :	Lesmicrosystèmes (MEMS –Micro Eléctro-Mécanical –System) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques,mécaniqueset optiques sur la même puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques de pointes de la microélectronique des semi conducteurs et des nouvelles techniques du micro usinage permettant ainsi la réalisation des systèmes entiers sur une puce (SOC –system onchip). En plus,cette intégration permettra de miniaturiser le système, d’améliorer sesperformances et d’augmenter la sensibilité. Dans ce cadre vient l’objectif de cette thèse qui a pour but de concevoir un micro capteurde pression, humidité et température. Le dit capteursera ensuite destiné à la collecte d’informations sur le climat pour dresser des bulletins météorologiques. Après avoir décritles différents procédés de fabrications des microsystèmes compatibles microélectroniques et récapituler l’état de l’art des différentes principes de transductiondes structures du capteur de pression, capteur d’humidité et capteur de température MEMS intégrésmicro usinés, nous avons procédé à une simulation des différentes étapes technologiques nécessaire pour la réalisation du multi capteur à l’aide du logiciel Silvaco (Athéna)(2D). Cette partie a été effectuée au centre de développement des technologiesavancées (CDTA). La mise au point d’une filière technologique de fabrication demande de définir des opérations technologiques successives indépendanteset compatiblesentre elles. Mot clefs Microsystèmes, MEMS, Micro-usinage, Multi capteurs, Membranes, Simulation, Silvaco.
En ligne :	https://dl.ummto.dz/bitstream/handle/ummto/614/Annane%20SAMIA.pdf?sequence=1&isA [...]
Format de la ressource électronique :	PDF
Permalink :	./index.php?lvl=notice_display&id=24896