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Capteurs microélectroniques in Electronique, E2/11 ([01/11/2007])
[article]
Titre : Capteurs microélectroniques Type de document : texte imprime Année de publication : 2007 Article en page(s) : 1-18p. Langues : Français Mots-clés : Capteurs microélectronique: matériaux silicium micro-usinage. Résumé : La microélectronique a apporté de grandes avancées au capteur, à la fois en fonctionnalités et en coût. Cet article présente les matériaux utilisables en microélectronique, et notamment le silicium. Puis il détaille les technologies de micro-usinage collectif utilisables pour produire ces capteurs. Les propriétés et les applications sont ensuite détaillées pour les capteurs micro-usinés et non micro-usinés Permalink : ./index.php?lvl=notice_display&id=37169
in Electronique > E2/11 [01/11/2007] . - 1-18p.[article] Capteurs microélectroniques [texte imprime] . - 2007 . - 1-18p.
Langues : Français
in Electronique > E2/11 [01/11/2007] . - 1-18p.
Mots-clés : Capteurs microélectronique: matériaux silicium micro-usinage. Résumé : La microélectronique a apporté de grandes avancées au capteur, à la fois en fonctionnalités et en coût. Cet article présente les matériaux utilisables en microélectronique, et notamment le silicium. Puis il détaille les technologies de micro-usinage collectif utilisables pour produire ces capteurs. Les propriétés et les applications sont ensuite détaillées pour les capteurs micro-usinés et non micro-usinés Permalink : ./index.php?lvl=notice_display&id=37169 Exemplaires
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